Kuartzozko obleen substratua
Kuartzozko obleen substratuak, batez ere, -purutasun handiko kuartzoz (SiO₂) egindako obleak dira, oso erabiliak erdieroaleetan, optoelektronikan, sistema mikro-elekromekanikoetan (MEMS), gailu optikoetan eta beste esparru batzuetan.
deskribapena
Materialaren propietateak
- Garbitasun handia:Normalean kuartzo sintetikoz egina (adibidez, silizea fusionatua), oso garbitasun handikoa (% 99,99 baino handiagoa edo berdina) eta gutxieneko ezpurutasunarekin gailuaren errendimenduari eraginik ez izateko.
- Egonkortasun termikoa:Hedapen termikoaren koefiziente baxua (≈0,55×10⁻⁶/gradu) eta -tenperatura-erresistentzia handia (leuntze-puntua ~1600 gradu), tenperatura altuko prozesuetarako egokia.
- Errendimendu optikoa:Transmisio-eremu zabala (UV-tik IR), UV-ren transmisio bikainarekin, fotomaskarak, lenteak eta abar egiteko aproposa.
- Inertetasun kimikoa:Azido eta alkaliekiko erresistentea (azido fluorhidrikoa izan ezik), aprobetxamendu hezeko prozesuetarako egokia.
- Isolamendu elektrikoa:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), substratu isolatzaileak edo -maiztasun handiko gailuak egiteko aproposa.
Aplikazioak
Erdieroaleen Fabrikazioa
- Photomaskaren substratuak
- EUV litografiako osagaiak
- Obleak prozesatzeko eramaileak
Fotonika eta Optoelektronika
- Uhin-gida optikoen substratuak
- Laser diodoen muntaketa
- Konputazio kuantikoko osagaiak
Espezialitate Aplikazioak
- MEMS erresonagailuen oinarriak
- Espazio-teleskopioen optika
- Energia handiko-laser sistemak
Fabrikazio-prozesua
- Lehengaien sintesia:Lurrun-deposizioaren bidez (adibidez, SiCl₄ oxidazioa) edo kuartzo naturalaren arazketa bidez ekoizten da.
- Urtzea eta konformatzea:-Tenperatura altua urtzea eta, ondoren, lingoteetan hoztu edo hagaxketan zuzenean ateratzea.
- Ebaketa:Diamantezko alanbre-zerrak edo laser bidezko mozketa erabiliz oble finetan moztuta.
- Artezketa eta leuntzea:Leunketa kimiko mekanikoak (CMP) nanometro{0}}mailako leuntasuna lortzen du.
- Garbiketa eta ikuskapena:Partikulak eta metal kutsatzaileak kentzea, eta ondoren akatsak eta parametroak probatzea.
Propietateak
|
Propietate fisikoak |
Balioak |
|
Garbitasuna |
＞99.99% |
|
Dentsitatea |
2,2 g/cm3 |
|
Gardentasuna |
＞90% |
|
Mohs gogortasuna |
5.5--6.5 |
|
Deformazio-puntua |
1280 gradu |
|
Leuntze Puntua |
1750 gradu |
|
Erretiro-puntua |
1250 gradu |
|
Bero espezifikoa (20 - 350 gradu) |
670J/kg. gradua |
|
Eroankortasun termikoa (20 gradu) |
1,4 W/m. gradua |
|
Bero-eroankortasuna (w/mk, 1000 gradu) |
1.0-1.2 |
|
Errefrakzio-indizea |
1.4585 |
|
Hedapen Termikoaren Koefizientea |
5.510 -7cm/cm. gradua |
|
- lan-tenperatura beroa |
1750--2050 gradu |
|
- epe laburrean Zerbitzuaren Tenperatura |
1450 gradu |
|
Epe luzeko - zerbitzu-tenperatura |
1100 gradu |
|
Propietate kimikoak |
Balioak |
|
Azido erresistenteak |
Azido sendoa (HF izan ezik), alkali sendoa, soluzio organikoa |
|
Tenperatura altuak Korrosioarekiko erresistentea |
Bikaina |
|
Metalezko ezpurutasun edukia |
<5 ppm |
|
Propietate elektrikoak |
Balioak |
|
Erresistentzia |
7107Ω.cm |
|
Isolamendu-indarra |
250~400Kv/cm |
|
Konstante dielektrikoa |
3.7~3.9 |
|
Xurgapen dielektrikoko koefizientea |
＜410-4 |
|
Galera dielektrikoaren koefizientea |
＜110-4 |
|
Propietate Mekanikoak |
Balioak |
|
Konpresio Indarra |
1100MPa |
|
Tolestura Indarra |
67MPa |
|
Trakzio Erresistentzia |
48MPa |
|
Poisson-en ratioa |
0.14~0.17 |
|
Gazteen Modulua |
72000MPa |
|
Ebakidura-modulua |
31000MPa |
Ohiko galderak
Q1: Zein da kuartzozko obleen substratuen gehieneko tamaina eskuragarri?
A: Ekoizpen estandarra 300 mm-ko diametroa arte, 450 mm-ko prototipoekin I+Grako eskuragarri.
Q2: Lodiera-profil pertsonalizatuak eman ditzakezu?
A: Bai - ekoitzi dezakegu:
- Ziridun obleak (laser aplikazioetarako)
- Zehaztasun konikodun diseinuak
- Mesa-gainazal egituratuak
Q3: Zer garbiketa-protokolo gomendatzen duzu?
A: RCA garbi prozesu estandarra:
1. Organikoa kentzea (H₂SO₄:H₂O₂)
2. Garbiketa ionikoa (HCl:H₂O₂)
3. HF-gainazal hidrofilorako azkena
Hot tags: kuartzo ostia substratua, Txina kuartzo oblea substratu fabrikatzaileak, hornitzaileak, fabrika
Bidali kontsulta
Gustatuko litzaizuke ere
